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        Aera質量流量控制器

        FC-R7700CD質量流量計

        產品分類:Aera質量流量控制器

        產品介紹

        底價供應FC-R7800CD質量流量計

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        FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
        采用金屬材質密封具備優(yōu)異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業(yè)通用和AE獨特電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

        特點:

        ◆高精度

        ◆高信賴和可靠性

        ◆耐腐蝕設計

        ◆采用金屬密封材質

        ◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

        ◆10SCCM-200SLM滿量程范圍

        ◆方便的互換性

        ◆高速應答***的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽?

        ◆方便的互換性

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        技術參數:
        ?

        性能指標

        FC-R7800CD/FC-R7800D系列

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        FC-R7810CD/FC-R7810D系列

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        FC-R7820CD/FC-R7820D系列

        ?

        滿量程范圍

        ?

        10Sccm-5Slm

        N/O:6-20slm*

        N/C:6-50slm**

        35-200Slm

        響應時間

        滿流量的±2%范圍內,小于2秒

        滿流量的±2%范圍內,小于3秒

        精度

        ≤±1%滿量程

        ≤±2%滿量程

        線性鍍

        ≤滿量程±0 5%

        ≤滿量程±0 5%?#1

        ≤滿量程±1%

        重復性

        ????????????????????????? ≤滿量程±0.2%

        泄漏率

        ??????????????????????????? 1X10E-11 Pa.m ?/sec

        控制范圍

        ??????????????????????????滿流量的2%-5%? #2

        壓差

        49Kpa-275Kpa

        ?

        69Kpa-275Kpa

        98Kpa-275Kpa

        147Kpa-275Kpa

        ?

        正常工作壓

        ?????????????????????????? 490Kpa

        ?

        進氣壓力

        ?????????????????????????? 980Kpa

        ?

        溫度范圍

        ?

        ?????????????????????????? 5-45℃(41-113℉)

        ?

        輸入電源

        ?

        +15VDC±2% 25mA

        -15VDC±2% 180mA

        +15VDC±2% 25mA

        -15VDC±2% 200mA

        功率

        3.1W max

        3.5W max

        輸入信號

        0-5 VDC

        輸出型號

        0-5 VDC

        控制閥形式

        常開或常閉電磁閥

        密封件

        金屬密封

        材質

        316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

        標準接口

        1/4"VCR和Swagelok兼容

        3/8"VCR,1/4"VCR

        重量

        1.0KG

        2.7KG

        #1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%

        #2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***

        #3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa5

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