底價供應FC-R7800CD質(zhì)量流量計
FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性，可適用于絕大多數(shù)氣體控制應用。提供行業(yè)通用和AE獨特電氣信號可選方案，可方便對用戶使用的質(zhì)量流量控制器（MFC）進行替換，操作簡單。
特點：
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設(shè)計
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應答***的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬只在運行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽
◆方便的互換性
技術(shù)參數(shù)：
|
性能指標
|
FC-R7800CD/FC-R7800D系列
|
FC-R7810CD/FC-R7810D系列
|
FC-R7820CD/FC-R7820D系列
|
|
滿量程范圍
|
10Sccm-5Slm
|
N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
|
35-200Slm
|
|
響應時間
|
滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒
|
滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒
|
|
精度
|
≤±1%滿量程
|
≤±2%滿量程
|
|
線性鍍
|
≤滿量程±0 5%
|
≤滿量程±0 5% ＃1
|
≤滿量程±1%
|
|
重復性
|
≤滿量程±0.2%
|
|
泄漏率
|
1X10E-11 Pa.m ?/sec
|
|
控制范圍
|
滿流量的2%-5% #2
|
|
壓差
|
49Kpa-275Kpa
|
69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
|
147Kpa-275Kpa
|
|
正常工作壓
力
|
490Kpa
|
|
進氣壓力
|
980Kpa
|
|
溫度范圍
|
5-45℃(41-113℉)
|
|
輸入電源
|
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
|
+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA
|
|
功率
|
3.1W max
|
3.5W max
|
|
輸入信號
|
0-5 VDC
|
|
輸出型號
|
0-5 VDC
|
|
控制閥形式
|
常開或常閉電磁閥
|
|
密封件
|
金屬密封
|
|
材質(zhì)
|
316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）
|
|
標準接口
|
1/4"VCR和Swagelok兼容
|
3/8"VCR,1/4"VCR
|
|
重量
|
1.0KG
|
2.7KG
|
＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa
|